零部件是半导体设备核心构成部分，具有多重壁垒，属于极易被“卡脖子”的环节，国产替代需求强。在国产化率较低、市场规模较大、开发技术难度大、对精度及材料要求高的细分领域具备一定的投资价值，例如半导体设备用射频电源、真空泵、阀门、陶瓷材料的静电卡盘等。本文参阅专家观点和大量研报资料，对半导体设备核心零部件的发展现状进行分析，并提出相关建议。

一、半导体设备零部件发展现状

（一）零部件的重要性

半导体设备厂商主要专注于设备研发、整体生产装配和测试，零部件则是半导体设备的核心构成，其性能、质量和精度直接决定设备的可靠性和稳定性，半导体设备升级迭代很大程度上依赖精密零部件的技术突破。从中国大陆半导体设备厂商的成本占比看，直接材料（主要是零部件）占比通常超过八成。

（二）市场规模
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